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Equipo MIT.nano para acelerar la innovación en sectores de “tecnología dura”

por Zach Winn para MIT News

Boston MA (SPX) 01 de febrero de 2024

Un nuevo conjunto de equipos avanzados de nanofabricación convertirá a MIT.nano en una de las instalaciones de investigación más avanzadas del mundo en microelectrónica y tecnologías relacionadas, abriendo nuevas oportunidades para la experimentación y ampliando el camino para que invenciones prometedoras se conviertan en nuevos productos impactantes.

El equipo, proporcionado por Applied Materials, ampliará significativamente las capacidades de nanofabricación de MIT.nano, haciéndolos compatibles con obleas (rebanadas delgadas y redondas de material semiconductor) de hasta 200 milímetros u 8 pulgadas de diámetro, un tamaño ampliamente utilizado en la industria. Las nuevas herramientas permitirán a los investigadores crear prototipos de una amplia gama de nuevos dispositivos microelectrónicos utilizando materiales y procesos de fabricación de última generación. Al mismo tiempo, la compatibilidad de 200 milímetros respaldará una estrecha colaboración con la industria y permitirá que las empresas adopten rápidamente las innovaciones y las produzcan en masa.

Los líderes de MIT.nano dicen que el equipo, que también estará disponible para científicos fuera del MIT, mejorará drásticamente las capacidades de sus instalaciones, permitiendo a los expertos de la región explorar de manera más eficiente nuevos enfoques en sectores de "tecnología dura", incluida la electrónica avanzada, próximamente. baterías de generación, energías renovables, computación óptica, sensores biológicos y muchas otras áreas, muchas de las cuales probablemente aún no se hayan imaginado.

"Los conjuntos de herramientas proporcionarán un impulso acelerado a nuestra capacidad para lanzar nuevas tecnologías que luego podrán ofrecerse al mundo a escala", afirma el director de MIT.nano, Vladimir Bulovic, que también es profesor Fariborz Maseeh de tecnologías emergentes. “MIT.nano está comprometido con su misión de expansión: construir un mundo mejor. Proporcionamos conjuntos de herramientas y capacidades que, en manos de investigadores brillantes, pueden hacer avanzar el mundo de manera efectiva”.

El anuncio se produce como parte de un acuerdo entre el MIT y Applied Materials, Inc. que, junto con una subvención al MIT del Centro de la Coalición de Microelectrónica del Noreste (NEMC), compromete más de 40 millones de dólares de inversión pública y privada estimada para añadir nanotecnología avanzada. equipos y capacidades de fabricación en MIT.nano.

"No creemos que haya otro espacio en los Estados Unidos que ofrezca el mismo tipo de versatilidad, capacidad y accesibilidad, con conjuntos de herramientas de 8 pulgadas integradas junto a conjuntos de herramientas más fundamentales para los descubrimientos de investigación", dice Bulovic. "Creará un camino fluido para acelerar el ritmo de la innovación".

Ampliando los límites de la innovación

Applied Materials es el mayor proveedor mundial de equipos para la fabricación de semiconductores, pantallas y otros productos electrónicos avanzados. La empresa proporcionará en MIT.nano varias herramientas de proceso de última generación capaces de admitir obleas de 150 y 200 milímetros y mejorará y actualizará una herramienta existente propiedad del MIT. Además de ayudar a MIT.nano en la operación y el mantenimiento diarios del equipo, los ingenieros de Applied Materials desarrollarán nuevas capacidades de proceso para beneficiar a los investigadores y estudiantes del MIT y más allá.

"Esta inversión acelerará significativamente el ritmo de la innovación y el descubrimiento en microelectrónica y microsistemas", dice Tomás Palacios, director de los Laboratorios de Tecnología de Microsistemas del MIT y profesor Clarence J. Lebel de Ingeniería Eléctrica. "Es una noticia maravillosa para nuestra comunidad, una noticia maravillosa para el estado y, en mi opinión, un tremendo paso adelante hacia la implementación de la visión nacional para el futuro de la innovación en microelectrónica".

La investigación a nanoescala en las universidades se lleva a cabo tradicionalmente en máquinas que son menos compatibles con la industria, lo que hace que las innovaciones académicas sean más difíciles de convertir en productos impactantes producidos en masa. Jorg Scholvin, director asociado de las instalaciones de fabricación compartida de MIT.nano, dice que las nuevas máquinas, cuando se combinan con el equipo existente de MIT.nano, representan una mejora radical en esa área: los investigadores podrán tomar una oblea estándar de la industria y construir su tecnología además para demostrar a las empresas que funciona en dispositivos existentes o para cofabricar nuevas ideas en estrecha colaboración con socios de la industria.

"En el camino desde una idea hasta un dispositivo completamente funcional, la capacidad de comenzar a pequeña escala, descubrir lo que se quiere hacer, depurar rápidamente los diseños y luego ampliarlos hasta una oblea a escala industrial es fundamental". dice Scholvin. “Significa que un estudiante puede probar su idea a escala de oblea rápidamente e incorporar conocimientos directamente a su proyecto para que sus procesos sean escalables. Proporcionar dicha prueba de principio desde el principio acelerará la salida de la idea del entorno académico, lo que potencialmente reducirá años de esfuerzo adicional. Otras herramientas en MIT.nano pueden complementar el trabajo en la escala de oblea de 200 milímetros, pero el mayor rendimiento y la mayor precisión del equipo Applied brindarán a los investigadores una repetibilidad y precisión sin precedentes en los entornos de investigación académica. Básicamente, lo que tienes es una herramienta más nítida, rápida y precisa para hacer tu trabajo”.

Scholvin predice que el equipo conducirá a un crecimiento exponencial de las oportunidades de investigación.

"Creo que un beneficio clave de estas herramientas es que nos permiten ampliar los límites de la investigación en una variedad de formas diferentes que podemos predecir hoy", dice Scholvin. “Pero también hay beneficios impredecibles, que se esconden en las sombras esperando ser descubiertos por la creatividad de los investigadores del MIT. Con cada nueva aplicación, normalmente nos vienen a la mente más ideas y caminos, por lo que, con el tiempo, se descubren más y más oportunidades”.

Dado que el equipo está disponible para su uso por personas ajenas a la comunidad del MIT, incluidos investigadores regionales, socios industriales, organizaciones sin fines de lucro y nuevas empresas locales, también permitirá nuevas colaboraciones.

“Las herramientas en sí mismas serán un lugar de encuentro increíble, un lugar que, creo, puede transponer lo mejor de nuestras ideas de una manera mucho más efectiva que antes”, dice Bulovic. "Estoy muy emocionado por eso".

Palacios señala que si bien la microelectrónica es más conocida por su trabajo en la fabricación de transistores más pequeños para que quepan en microprocesadores, es un campo vasto que permite prácticamente toda la tecnología que nos rodea, desde comunicaciones inalámbricas e Internet de alta velocidad hasta gestión de energía, atención médica personalizada y más.

Dice que está personalmente emocionado de utilizar las nuevas máquinas para realizar investigaciones sobre electrónica de potencia y semiconductores, incluida la exploración de nuevos materiales prometedores como el nitruro de galio, que podría mejorar drásticamente la eficiencia de los dispositivos electrónicos.

Cumpliendo una misión

Los líderes de MIT.nano dicen que un impulsor clave de la comercialización serán las nuevas empresas, tanto del MIT como de fuera.

"Esto no sólo ayudará a la comunidad de investigación del MIT a innovar más rápido, sino que también permitirá una nueva ola de emprendimiento", afirma Palacios. “Estamos reduciendo las barreras para que los estudiantes, profesores y otros empresarios puedan adoptar la innovación y llevarla al mercado. Esto encaja muy bien con la misión del MIT de hacer del mundo un lugar mejor a través de la tecnología. No puedo esperar a ver los nuevos y sorprendentes inventos que presentarán nuestros colegas y estudiantes”.

Bulovic dice que el anuncio se alinea con la misión establecida por los líderes del MIT en el inicio de MIT.nano.

“Tenemos el espacio en MIT.nano para acomodar estas herramientas, tenemos las capacidades dentro de MIT.nano para gestionar su operación y, como instalación abierta y compartida, tenemos metodologías mediante las cuales podemos invitar a cualquier persona de la región a utilizar el herramientas”, dice Bulovic. "Esa es la visión que el MIT presentó cuando diseñábamos MIT.nano, y este anuncio ayuda a cumplir esa visión".

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