En un chip DRAM, el diseño de características fuera del conjunto de celdas puede ser tan desafiante como aquellas dentro del propio conjunto. Mientras...
La búsqueda de tamaños de celdas DRAM cada vez más pequeños sigue activa y en curso. Se proyecta que el tamaño de la celda DRAM se acerque a 0.0013 um2 para...
La litografía ultravioleta extrema (EUV) apunta a tonos de patrones por debajo de 50 nm, que está más allá de la resolución de un sistema de litografía de inmersión sin patrones múltiples. En...
